夏克-哈特曼反射式波前测量系统 SHSInspect RL
SHSInspect RL模块是灵活的波前测量工具，采用双通光路对光学元件及系统进行功能测试。它将SHSLab波前传感器、光源以及成像光学器件集成在一体化的紧凑设备中，易于集成到台式设备、测试平台或生产线中。
SHSInspect RL模块具有如下优势：
-采用共轭成像设计，类似于干涉仪光学系统，无像场畸变误差。
-针对高精度测量的成熟校准过程
-模块化的照明单元，可轻松改变波长
-波前传感器可单独使用，保证复位精度。
测量原理光路
性能参数
附件选项
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