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AccuFiz E 高分辨型

AccuFiz系列干涉仪,面世于2011年,是重点针对波前中高频特征测量的高分辨菲索干涉仪;光学系统采用衍射极限设计,实现了高传函,低噪声。同时AccuFiz干涉仪借鉴了4D公司在动态相移干涉技术上的成功经验,沿用其核心算法,可通过采用动态载波相移技术,在气流扰动和极端振动条件下实现高精度测量,这一技术使得AccuFiz可以解决大部分的动态测量问题。

产品介绍

AccuFiz干涉仪,面世于2011年,是重点针对波前中高频特征测量的高分辨菲索干涉仪,光学系统采用衍射极限设计,实现了高传函,低噪声;同时AccuFiz干涉仪借鉴了4D公司在动态相移干涉技术上的成功经验,沿用其核心算法,采用动态载波相移技术,可在气流扰动和极端振动条件下实现高精度测量,这一技术使得AccuFiz可以解决大部分的动态测量问题。


AccuFiz干涉仪也是一款紧凑、轻巧的菲索干涉仪,可以满足多样的测量需求,是一款性价比很高的干涉仪。具有以下特点

- 衍射极限光学系统设计,提供高空间分辨率,可清晰看到样品表面中高频特征

- 动态载波相移技术,实现在气流扰动和极端振动条件下的高精度测量

- 可接短相干光源模块,直接测量平行平面面形,可测大于300微米厚样品


常规属性

系统结构:菲索型干涉仪

采集模式:机械相移式,动态载波相移式

工作波段:632.8nm 稳频He-Ne光源

                可选:532nm、1053nm、1064nm、1550nm(SWIR)、3-5µm(MWIR)、10.6µm(LWIR)

光    源:光源尺寸连续可调,降低相干噪声

              可接入短相干光源、高功率光源

光束口径:标准4英寸、6英寸;定制大口径:12英寸、18英寸、24英寸

相机像素:1200 x 1200 pixels或2400 x 2400 pixels, 12bit

变倍:1-10X Smart ZoomTM

外形尺寸:4英寸: 51.4 x 23.8 x 20.3 cm 

                6英寸: 76.2 x 27.9 x 24.1 cm 

重量:4英寸:13.6kg;6英寸:22.7kg


系统性能

条纹分辨率:1.44MP相机:接近500对;6MP相机:接近1000对

空间频率响应: ITF > 0.7,@ 500 cyc/AP for 1.44 MP 相机; 1000 cyc/AP for 6 MP 相机 

RMS重复性:<0.0001 waves (0.06nm) RMS*

RMS精密度:0.001 waves(0.6nm)RMS*

最小曝光时间:10µs

样品反射率:1-100%(需衰减)


*采用10个数据RMS值的1σ方差作为结果;每个数据是16次测试的平均

**采用10个数据,每个数据是16次测试的平均;以这10个数据的平均值作为参考值;以每一个数据与参考值的差来计算RMS平均作为结果


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