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菲索型大口径干涉仪

4D公司的大口径相移干涉仪,采用AccuFiz高分辨菲索干涉仪做为主机,扩束器设计紧凑,内部采用碳纤维支撑结构,最小化热灵敏度,保证长时间运行的稳定性。主机置于定位支架上,可以简单、快速、精确定位主机相对于扩束器的位置。

产品介绍

4D公司的大口径相移干涉仪,采用AccuFiz高分辨菲索干涉仪做为主机,扩束器设计紧凑,内部采用碳纤维支撑结构,最小化热灵敏度,保证长时间运行的稳定性。主机置于定位支架上,可以简单、快速、精确定位主机相对于扩束器的位置。能够轻松将AccuFiz主机取下来当做100mm口径干涉仪使用,进行独立的平面与球面测量。


分体式设计,使得干涉仪方便移动。具有如下特点

- 高传函低噪声主机,清晰看到样品中高频特征

- 碳纤维支撑结构扩束器,最小化热灵敏度

- 短相干光源扩展模块,直接测量平行平面面形


常规属性

- 采集模式:机械相移,载波动态相

- 出光口径:300mm,或450mm,或600mm

- 工作波段:632.8nm,可选1053nm, 1064nm

- 主机:AccuFiz-E100S或AccuFiz-H100S

            相机像素:1200 x 1200 pixels或2400 x 2400 pixels, 12bit


系统性能

- 机械相移测量重复性 0.6nm RMS

- 系统长期稳定性  < 2.2nm RMS


配置选项

- Tip/Tilt Mount

光学口径:300mm,或450mm,或600mm

Tip/Tilt:±3º

旋转:360º连续悬挂式


- Phase-Shlfting Tip/Tilt Mount

光学口径:300mm,或450mm,或600mm

旋转:360º连续悬挂式

相移器:与干涉仪主机通过以太口相连,相移精度与4”口径无差别


- 参考镜和反射镜

装夹:封装在两维支架内或者吊索安装在结构件中

波前精度:λ/20或λ/10

参考平面镜镀膜:4%或20%  (standard is uncoated both sides, attenuation coated has  reflectance coatings and uncoated on the back) 

反射镜镀膜:4% (uncoated one side, fine ground back side)


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