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动态光学轮廓仪

NanoCam Sq 便携型

NanoCam Sq采用相移干涉技术(PSI),精度更高,可达0.1nm;沿用4D技术公司的相位相关探测器的瞬时相移技术,可在振动环境下测量大口径光学元件表面粗糙度。

NanoCam Sq克服了传统粗糙度仪速度慢、使用复杂的缺点,其便携和抗振动的特性使NanoCam Sq在多种复杂工作场景——生产现场、龙门机器人、抛光设备旁、放置在大口径光学元件表面,都能进行高精度测量;可挂在机械手上对被测元件进行任意方位的测量。


常规属性

系统描述:对振动不敏感的动态表面轮廓仪

采集模式:采用相位相关探测器的瞬时相移式

核心技术:相移干涉技术(PSI)

光源:460nm LED

相机像素:1.6MP, 12-bit

外形尺寸:24 cm × 24 cm × 8 cm

重量:4.6 kg

系统性能

最小曝光时间:<100µsec

垂直测量范围:115nm step 最大

RMS重复性:<0.005nm

RMS精度:<0.1nm


配置选项

物镜 :可选0.9X,2X,5X,10X,20X,50X(相见列表)

三脚架:可选操纵杆控制的三脚架,带倾斜/俯仰/垂直调节

校准镜:超光滑参考镜

加长线缆:5m或10m

长工作距离干涉物镜


放大倍率

0.9X2.0X5X10X
20X50X

数值孔径

0.026     0.055     0.15      0.30      0.45      0.8      

工作距离(mm)

15.023.023.017.00.510.29

460nm处的分辨率(um)     

8.84.21.50.770.510.29

空间采样(um)

8.23.71.50.740.370.15

视场角(mm)

9.94.41.80.900.440.18


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