NanoCam HD采用相移干涉技术（PSI），精度可达0.1nm；沿用4D技术公司的相位相关探测器的瞬时相移技术，可在振动环境下测量大口径光学元件表面粗糙度。
NanoCam HD克服了传统粗糙度仪速度慢、使用复杂的缺点，其便携和抗振动的特性使NanoCam 在多种复杂工作场景——生产现场、龙门机器人、抛光设备旁、放置在大口径光学元件表面，都能进行高精度测量；可挂在机械手上对被测元件进行任意方位的测量。
NanoCam HD能克服一般光学轮廓仪受样品反射率的制约，可以对高反或低反样品进行测量。
系统描述：对振动不敏感的动态表面轮廓仪
采集模式：采用相位相关探测器的瞬时相移式
核心技术：相移干涉技术（PSI）
光源：460nm LED
相机像素：1.6MP, 12-bit
外形尺寸：24 cm × 24 cm × 8 cm
重量：4.6 kg
最小曝光时间：<100µsec
垂直测量范围：115nm step 最大
RMS重复性：<0.005nm
RMS精度：<0.1nm
物镜 ：可选0.9X，2X，5X，10X，20X，50X（相见列表）
三脚架：可选操纵杆控制的三脚架，带倾斜/俯仰/垂直调节
校准镜：超光滑参考镜
加长线缆：5m或10m
长工作距离干涉物镜
放大倍率 | 0.9X | 2.0X | 5X | 10X | 20X | 50X |
数值孔径 | 0.026 | 0.055 | 0.15 | 0.30 | 0.45 | 0.8 |
工作距离（mm） | 15.0 | 23.0 | 23.0 | 17.0 | 0.51 | 0.29 |
460nm处的分辨率（um） | 8.8 | 4.2 | 1.5 | 0.77 | 0.51 | 0.29 |
空间采样（um） | 8.2 | 3.7 | 1.5 | 0.74 | 0.37 | 0.15 |
视场角（mm） | 9.9 | 4.4 | 1.8 | 0.90 | 0.44 | 0.18 |
