LAS-SPM™ 3D表面轮廓仪
1）特别适合口径100mm高度50mm的非球面及自由曲面
2）采用最新纳米扫描和非接触式共聚焦高度测量技术
3）精度200nm，3D表面形貌和薄膜厚度
4）可整机使用，也可集成到中心偏主机上，使LAS主机在几秒内变成一个强大的3D表面轮廓仪
系统性能
LAS-SPM™ 3D表面轮廓仪 | |||
技术 | 彩色共聚焦 | ||
| 应用 | 距离、厚度 | ||
| 取样 | 4000 点/每秒 | ||
| 最大样品 | φ50mmX50mm | ||
| 探头 | 0.2mm | 1mm | 4mm |
| 横向分辨率 | 1.7um | 2.5um | 4um |
| 工作距离 | 5mm | 16mm | 37mm |
| 垂直分辨率 | 8nm | 40nm | 160nm |
| 垂直精度 | 150nm | 400nm | 1.6um |
最大陡度 | 65o | 40o | 25o |
| 厚度测量范围 | up to 0.3mm | up to 1.5mm | up to 6mm |
