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LAS-SPM™3D轮廓仪/测量模块

LAS-SPM™ 3D表面轮廓仪

1)特别适合口径100mm高度50mm的非球面及自由曲面

2)采用最新纳米扫描和非接触式共聚焦高度测量技术

3)精度200nm,3D表面形貌和薄膜厚度

4)可整机使用,也可集成到中心偏主机上,使LAS主机在几秒内变成一个强大的3D表面轮廓仪

系统性能

LAS-SPM™ 3D表面轮廓仪

技术

彩色共聚焦
应用距离、厚度
取样

4000 点/每秒

最大样品

φ50mmX50mm

探头

0.2mm

1mm4mm
横向分辨率1.7um2.5um4um
工作距离5mm
16mm37mm
垂直分辨率
8nm
40nm160nm
垂直精度

150nm

400nm1.6um

最大陡度

65o

40o25o
厚度测量范围
up to 0.3mm
up to 1.5mmup to 6mm


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