快速3D轮廓测量仪
CUBE系统是专门为车间的品控设计的，针对抛光、模压和金刚石车削的光学元件的快速检验，包括红外材料和金属。这个系统的另一个优势是能在单个测量序列中完成多个较小的透镜或透镜阵列的测量。
产品介绍
系统集成了一对光谱共聚焦传感器（纳米分辨率），采用单点非接触式测量，配合高速纳米级编码的X/Y/Z多轴坐标运动，可以同时测量单个镜片或在托盘中的小镜头阵列，采集前表面、后表面和基准面的三维点云图，得到相应的几何参数。由于采用了稳定的运动结构，即可以测量旋转轴对称的样品，也可以测量非轴对称或更复杂的自由形状样品，样品的最大直径可达到50mm（外径70mm）。
根据透镜直径和三维云点采样密度的不同，每个表面的测量时间范围是30 ~ 60秒/面/样品。
应用
CUBE系统是专门为车间环境的品控设计的，主要针对抛光、模压和金刚石车削的光学元件，包括红外材料和金属。该系统能在单次测量中完成在托盘中多个较小的透镜或透镜阵列的测量。
特点
测量的几何参数包括：
1.相对于基准中心，前后表面顶点的偏移（V1-V2）
2.相对于基准倾斜，前后表面的楔角（θw）
3.元件中心厚（CT）
4.边缘厚度差（ET1-ET2）
5.前后表面的总体厚度变化TTV
6.前后表面的曲率半径（R1、R2）
7.前后表面矢高（Sag1、Sag2）与面形误差
• 紧凑，带隔离罩的工作台设计
• 双共焦彩色图像传感器（8kHz 测量频率），单点，非接触，可见光测量
• 稳定的殷钢架构，对振动不敏感
• 带纳米级编码器的X/Y/Z多轴坐标运动，以磁性直线电机驱动，采用交叉滚子轴承，在50mm X 50mm X 50mm的范围内，完成快速栅格或螺旋扫描
• 自定心夹具，能通过精密连接完成待测件快速装卸
• 同时适用于最大70mm外径的光学元件和微透镜阵列的夹具
• 简单方便的QuickPro操作和数据采集软件，拥有传感器优化设置、数据采集、自动定心和坐标运动排序功能
• CalcuSurf-3D 视图分析软件，用于分析多表面的三维云点数据
产品参数
| 系统 | |||
| 尺寸（长/宽/高） | 500mm/500mm/500mm | ||
| 重量 | 30kg | ||
| 电源 | 110-220VAC，50-60Hz，2A（220V） | ||
| 运动控制 | |||
| 运动范围 | 50mm x50mm x50mm | ||
| 编码器分辨率（X/Y/Z） | 5nm/5nm/1nm | ||
| 平整度 | 1um/50mm | ||
| 最大样品尺寸 | 外径70mm | ||
| 载重 | 2kg | ||
| 传感器 | |||
| 技术 | 光谱共聚焦 | ||
| 应用 | 距离，偏心，楔角，缺陷，厚度 | ||
| 采样 | 最大：4000点/秒/传感器 | ||
| 可选测头 | 0.2mm | 0.4mm | 1mm |
| 横向分辨率 | 1.5um | 2.0um | 4um |
| 工作距离 | 5mm | 15mm | 37mm |
| 轴向分辨率 | 10nm | 10nm | 150nm |
| 轴向精度 | 50nm | 50nm | 500nm |
| 最大斜率 | ±45° | ±45° | ±20° |
| 测量精度 | |||
| 偏心 | ≤2 micron | ||
| 倾斜偏心 | ≤5 arcsec | ||
| 矢高误差 | ≤0.5 micron | ||
| 厚度（S1-S2） | ≤1 micron | ||
