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快速3D轮廓测量仪

CUBE系统是专门为车间的品控设计的,针对抛光、模压和金刚石车削的光学元件的快速检验,包括红外材料和金属。这个系统的另一个优势是能在单个测量序列中完成多个较小的透镜或透镜阵列的测量。


产品介绍

系统集成了一对共焦色差位移传感器(纳米分辨率),采用单点非接触式测量,配合高速X/Y/Z多轴坐标运动,可以同时采集单个镜片或微镜头前后表面和基准面的3D形状点云得到相应的几何特征。不仅可以测量旋转对称的样品,还可测量更复杂的非轴对称或自由曲面样品,样品的最大直径可达到50mm(外径75mm)。

根据透镜直径和三维点云采样密度的不同,透镜每个表面的测量时间范围是30秒到4分钟 。(30-240秒)


应用

CUBE系统是专门为车间的品控设计的,针对抛光、模压和金刚石车削的光学元件的快速检验,包括红外材料和金属。这个系统的另一个优势是能在单个测量序列中完成多个较小的透镜或透镜阵列的测量。

特点

测量的几何特征包括:

1. 相对于中心轴,前后表面顶点的偏移

2. 相对于水平基准,前后表面的楔角

3. 前后表面的总体厚度变化(TTV)

4. 前后表面矢高与表面面形



• 紧凑,带隔离箱的台式设计

• 双共焦色差传感器(8kHz)、单点、非接触、可见光测量

• 振动不敏感,稳定的殷钢框架

• 纳米级编码X/Y/Z多轴坐标运动,以磁驱直线电机,采用交叉滚子轴承,在50mmx50mm x50mm的范围内,完成快速栅格或螺旋扫描

• 精密自定心夹具,快速装卸样品

• 夹具同时适用于最大75mm外径的光学元件和微透镜阵列

• 简单方便的QuickPro操作和数据采集软件,拥有传感器优化设置、数据采集、自动定心和坐标运动功能

• CalcuSurf-3D 视图分析软件,用于观察分析多表面的三维点云数据


产品参数
系统

尺寸(长/宽/高)
500mm/500mm/500mm
重量
30kg
系统控制
电源,运动控制,传感器控制
电源
运动控制

运动范围
50mm x50mm x50mm
编码器分辨率(X/Y/Z)
5nm/5nm/1nm
驱动形式
磁驱直线电机
轴承形式
交叉滚子轴承
平整度1um/50mm
最大样品尺寸外径75mm
载重2kg
传感器
技术
色差共聚焦
应用距离,偏心,楔角,矢高,厚度
采样最大:4000点/秒
可选测头
0.2mm
1mm4mm
横向分辨率1.5um
2.5um4um
工作距离
5mm16mm37mm
轴向分辨率10nm
50nm150nm
轴向精度
50nm
100nm500nm
最大斜率±45°±28°±20°
测量精度
平移偏心
≤5um
倾斜偏心≤10arcsec
矢高误差≤0.5um
厚度(S1-S2)≤5um



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